Ge₂Sb₂Te₅(GST)作为被广泛研究的相变材料(PCMs)已经在应用在商业光学存储介质中，如CD、DVD和蓝光光盘，但是其在柔性器件应用上还面临着各种挑战。脉冲激光沉积(PLD)以其技术优势引起了广泛关注，我们通过PLD工艺在云母衬底上成功制备了具有优异弯曲稳定性的Ge₂Sb₂Te₅相变薄膜。我们通过采用X射线光电子能谱(XPS)、X射线衍射光谱(XRD)和拉曼光谱(Raman)等技术手段，分别在晶格结构、组分以及相变特性上提供了直观的证据。我们还进一步制备了基于该薄膜的柔性器件，验证了器件在不同弯曲情况下能保持开关稳定性，为相变材料在柔性存储器件和柔性开关器件应用提供了新途径，该研究成果发表在Appl. Phys. Lett.上。

原文链接：https://aip.scitation.org/doi/full/10.1063/5.0001348