1) 液氦/液氮低温真空探针台

型号：ST-500

技术指标：真空环境 10^-6-10^-9 mbar，温度范围8 K-675 K。

主要功能：利用液氦或液氮快速制冷，为光电子材料和器件提供真空和低温测试条件。

2) 半导体测试系统

型号：4200-SCS

技术指标：电流范围1 pA-105 mA，频率范围10 kHz-10 MHz。

主要功能：测试样品的电学特性，如I-V、I-T、C-V等功能；利用四探针法或两端法精确测量样品电阻。

3) 超导磁体系统

型号：SM4000-10

技术指标：磁场范围0-10 T；温度范围1.5 K-300 K

主要功能：提供强磁场环境，开展霍尔测量

  

 

4) 电学输运测试系统

型号：Optistat AC-V12

技术指标：源表输入阻抗大于10¹⁶ Ω；电流源源电流范围100 fA~100 mA

主要功能：自动化精确测量半导体材料及异质结结构的阻抗及载流子迁移率等多种电学特性，可结合磁光系统使用

  

5) 铁电测试系统

型号：Primer II铁电测试仪、BDS-40介电频谱仪、Keysight E4990A阻抗测试仪、Keithley 6517A高阻静电计、Keithley 237 SMU

技术指标：铁电测试- ±100 V，f < 1 kHz

                    介电测试- DC ±40 V, 10²-10⁶ Hz (常规)

                                      10^-2-10² Hz (慢效应)

                    弱电流测试- > 10^-12 A

主要功能：铁电及电介质薄膜和器件电学性能测试