该工作利用电子束刻蚀技术自下而上制备了由Ag导电细丝作为加热器的二端口直接加热型GeTe相变射频开关，Ag导电细丝在高电流密度作用下产生局部焦耳热，导致温度快速上升，且有效地减少了通过底电极的热损失。使用Ag导电细丝作为加热器能够降低相变开关的操作电压，从而达到降低能耗的目的，其中开态能耗可低至19.2 nJ。该开关的循环周期约为1000次，开关比超过3个数量级，具有良好的循环稳定性。在DC-67GHz范围内，开关的插入损耗和隔离度分别优于0.8 dB和20 dB，截止频率高达15 THz。本工作的开关结构在有效保证射频传输的基础上兼顾热传输性能，达到了优化具有低能耗优势的直接加热型相变射频开关的目的。该研究为此后设计二端口直接加热型相变射频开关提供一种新型的加热结构。该成果发表在IEEE Electron Device Lett.上。

原文链接：https://ieeexplore.ieee.org/document/10366261