1) 红外光谱椭偏仪

型号：IR-VASE

技术指标：测试光谱范围300-5000 cm^-1，角度范围26-90°，温度范围4.2-700 K

主要功能：探测材料晶格振动、光学常数以及材料微结构特性

  

 

  

2) 可见-紫外光谱椭偏仪

型号：V-VASE

技术指标：测试光谱范围190-2500 nm，角度范围20-90°，温度范围4.2-873 K

主要功能：用于半导体、电介质、聚合物、金属等各类样品的研究和分析

  

  

3) 自动椭偏仪

型号：SC630UVN

技术指标：测试范围250-1700 nm

主要功能：研究薄膜厚度、光学常数等