相变材料具有非易失性和可编程特性，为构建低功耗、可重构射频电路提供了新的技术路径。本研究开发并表征了基于Sb₂Te相变材料的射频开关，通过电脉冲驱动相变材料发生可逆相变，实现了50 ns的快速切换和11.17 nJ的总开关能耗，循环耐久测试达到1100次。器件在0.1–67 GHz的宽频段内表现出低于0.8 dB的插入损耗和高于19 dB的隔离度。我们的研究还评估了器件在5 GHz下的射频功率处理特性，并进一步基于该开关设计了第四阶并行耦合带通滤波器。电路级仿真结果表明，该滤波器的中心频率可在3.20–3.49 GHz之间进行非易失性调谐。本研究展示了Sb₂Te相变射频开关在快速、低能耗开关器件及可重构射频前端中的应用潜力。该成果发表在Appl. Phys. Rev.上。

原文链接：https://doi.org/10.1063/5.0333975